真空多晶硅退火炉

用途：
适用多晶硅单晶硅退火；也可用于合金属锯带、电池材料、稀土材料、磁性材料、光伏材料、化工材料、陶瓷材料等研究的高校、研究院所实验室用作烧结及金属热处理实验。
特点：
单室、外热式、布置紧凑的炉体结构。
加热元件沿炉胆圆周360度均匀布置，温度均匀性高。
设计全纤维炉膛，保证炉膛内高的热效率。
独有的一体化水、电联接结构，具有故障低，调试快。维护方便、费用低的特点。
独有的快冷方式，能快速降低炉温，提高生产效率，从1000℃降到100℃只需2个多小时。
结构：
真空实验炉分立式和卧式两种，根据炉温高低和客户的工艺要求，采用石墨或钼或钨作发热体及隔热屏。可编程PID调节。炉膛可整体移出，便于维护。配备充气装置、可向炉内充入保护性气体或工作气体，充气流量可调。配备内循环冷却装置，可加速炉内物料冷却，缩短工作周期，利于提高产品质量和工作效率。
根据客户需要，可升级配置
1、可配内置式快冷系统；
2、可配PLC可编程控制器及图形操作终端（触摸屏）控制系统；
3、根据真空度的要求加配油扩散泵，极限真空度可达6.7×10-4Pa；
4、采用特殊设计及选材的发热体和隔热屏，烧结温度可达2100℃以上。