CVD气相沉积炉

化学气相沉积炉应用领域 化学气相沉积炉（沉积炭）可用于以碳氢气体（如C3H8等）为碳源的复合材料的化学气相沉积，如C/C复合材料、SiC复合材料等的CVD、CVI处理。 化学气相沉积炉产品规格 产品型号/规格W×H×L(mm) 600*600*1000 800*800*1200 1000*1000*1500 1200*1200*2500 1500*1500*3000 2500*2000*3600 装载重量(KG) 350 800 1500 2500 5000 10000 最高温度(℃) 1500 1500 1500 1500 1500 1500 温度均匀性(℃) ±7.5 ±7.5 ±7.5 ±10 ±10 ±15 加热功率(kw) 250 360 480 600 900 1200 极限真空度(Pa) 20 20 20 20 20 20 压升率(Pa/h) 0.67 0.67 0.67 0.67 0.67 0.67 以上化学气相沉积炉参数可以根据工艺要求进行调整，不作为验收依据，具体以技术方案和协议为准。 化学气相沉积炉主要配置 炉门：丝杠升降//液压升降/手动升降；手动锁紧/自动锁圈锁紧 炉壳：全碳钢/内层不锈钢/全不锈钢 炉胆：软碳毡/软石墨毡/硬质复合毡/CFC 加热器：等静压石墨/模压三高石墨/细颗粒石墨 工艺气路系统：体积/质量流量计；手动阀/自动阀；进口/国产 真空泵和真空计.-进口/国产 PLC：欧姆龙/西门子 控温仪表：日本岛电/英国欧陆 热电偶：C分度号/S分度号/K分度号/N分度号 记录仪：无纸记录仪/有纸记录仪；进口/国产 人机界面：模拟屏/触摸屏/工控机 电器元件：正泰/施耐德/西门子 料车：滚道式/叉车式/叠加式超长传输料车 化学气相沉积炉技术特征 本化学气相沉积炉最大工作区尺寸可达2.5m×2m×4.5m，能满足超大型工件化学气相沉积处理需求； 本化学气相沉积炉采用多温区独立控温，温度均匀性好； 本化学气相沉积炉采用特殊结构沉积室，密封效果好，抗污染能力强； 本化学气相沉积炉采用多通道沉积气路，流场均匀，无沉积死角，沉积效果好； 本化学气相沉积炉对炭沉积过程中产生的焦油、固体粉尘、有机气体等能进行有效处理。