扩散炉、扩散炉炉体

设备用途：用于大规模集成电路、太阳能电池片、电力电子、光电器件、光导纤维等行业的氧化、扩散、烧结、合金等工艺。

设备特点：单元组合方式。根据工艺的不同，可以在主机的基础上配气源柜、超净工作台、悬臂推拉舟等。

主要技术指标：

★炉管数：1～4管

★配工艺管口径：Φ90～360mm(3～12英寸)

★恒温区长度：760～1000mm±1.0℃(300～800℃)

760～1000mm±0.5℃(800～1280℃)

★单点稳定性：±1.0℃/24h(300～800℃)

±0.5℃/24h(800～1280℃)

★气源路数：≤7路，可配恒温源瓶、氢氧合成点火器

★气体控制：浮子/质量流量计

★悬臂舟参数：速度：20～1000mm/min

最大行程：2000mm

定位精度：±1mm

最大载荷：17Kg

★超净工作台：净化等级：100级（万级厂房）

噪音：≤62dB（A）

振动：≤3μm