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青岛福润德牌四管扩散炉

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品牌: 青岛福润德微电子有限公司
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更新: 2015-07-14
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公司基本资料信息
 
 
四管扩散炉主要满足半导体电力电子器件、大功率集成电路等行业,对所加工硅片进行扩散、氧化、退火、合金等工艺。主要由扩散炉加热炉体、气源系统、控制系统、超净化操作系统等组成。选用工控机微控方式或者程控方式操作

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