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品牌:青岛福盟微电子设备有限公司
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信息描述： 1.设计温度：1200℃ 2.炉膛材质：优质气炼石英管 3.恒温区：根据客户要求（恒温区内温差±1℃） 4.控制温区点数：石英管外3个测温点，采用3支铂铑热电偶；石英管内1个固定测温点，采用K型热电偶；石英管内1个可移动测温点，K型热电偶，用于测量温度分布及校准。 5.加热元件：优质电阻丝 6.最大加热功率根据工艺要求而定 7.气路配件材料卡套密封；两路气体采用质量流量计控制,方便设定气体流量。 8. 极限真空预抽真空 ：一级机械泵2X—4（1.0Pa 10min） 9. 外形参考尺寸可定 10. 控温精度：±1℃。 11. 电源：三相五线制，AC380V 50Hz。 12. 温控表：日本岛电，25段可编程序。 13. 控制方式：过零触发。 14. 真彩触摸屏+PLC程序控制 15. 气路系统气密性：1×10-7 PaM3/S 16. 最大升温速率：15℃/Min 17. 质量流量计精度等级：0.2%FS—0.5%FS： 18. 质量流量计测量范围：依据客户工艺选择 19. 每台流量计前各有一个过滤阀 20. 每条管路各配有一个单向阀来杜绝气体的倒流。 21. 工作腔体压力通过数字真空计直观显示。 22. 工艺气体在进入工作腔体前经过混气包来实现工艺气体按比例混合 23. 所有气路管件包括阀门均采用耐腐蚀不锈钢（可耐H2S气体高温工作环境）