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品牌:青岛福盟微电子设备有限公司
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可完全代替进口炉体，优质加热炉丝，进口保温材料，采用国外先进加工工艺，炉体可长期使用在高温下，处理12英寸以下硅片，工作温度2000℃-1286℃。 设备特点： 可保存多条工艺曲线每条曲线可设置多步 工艺曲线的自动运行控制功能 工艺中可强制跳到下一工艺步运行功能 自动运行中可暂停／继续运行功能 可存储多组PID参数供系统运行调用功能 PID参数自整定功能 工艺气体的程序控制功能 关键部件全部具有高可靠性 具有良好的人机界面 系统故障自诊功能 停电后断点继续运行功能等等 具有历史记录功能 具有多点温度补偿 技术指标： 可配置工艺管外径2～8英寸 可配置工艺管数量：1～4管/台 工作温度范围：400～1300℃ 恒温区长度及精度：300～1250mm 800～1300℃±0.5℃ 单点温度稳定性：800～1300℃±0.5℃/24h 最大可控升温速率：15℃/min 最大降温速率：5℃/min