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品牌:青岛福盟微电子设备有限公司
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高纯材料提纯设备主要满足高纯砷等新材料制造行业，对材料进行气氛保护下的烧结、升华、还原、精馏等工艺。 主要性能指标： 外型形式：卧式结构，水平炉管 工作温度：200℃—1100℃ 恒温区长度：根据工艺要求 仪表控温精度：千分之三高精度 可通工艺气体：氮气、氧气、氢气、氩气等 气体控制方式：MFC或浮子流量计控制 报警系统：气体压力异常报警、断电报警、超温报警、极限超温报警 控制方式：程序控制或工控机+触摸屏控制 产品特点： 采用国内独有的开合式设计方式； 工艺降温速度快； 生产效率高； 设备维护简便