价格:￥面议
品牌:青岛福盟微电子设备有限公司
销量:0件
库存:75件
订单:0个
评价:0条
程控扩散炉主要满足半导体电力电子器件、大功率集成电路等行业，对所加工硅片进行扩散、氧化、退火、合金等工艺。主要由扩散炉加热炉体、气源系统、控制系统、超净化操作系统等组成。选用工控机微控方式或者程控方式操作 ◆ 全中文操作界面，可编辑参数，操作简便 ◆ 可保存多条工艺曲线，每条曲线可设置多步 ◆ 工艺曲线的自动运行控制功能 ◆ 自动运行中可暂停/继续运行功能 ◆ 工艺中可强制跳到下一工艺步运行功能 ◆ 智能升降温斜率控制功能 ◆ PID参数自整定功能 ◆ 可存储多组PID参数供系统运行调用功能 ◆ 系统故障的检测与报警功能 ◆ 系统误差修正（单点或多点动态修正功能） ◆ 智能悬臂推拉舟控制功能 ◆ 工艺气体的程序控制功能（电磁阀/质量流量控制器） ◆ 停电后断点继续运行功能等等。 ◆ 工作温度：200-1000℃（最高温度小于800℃） ◆控制精度：≤±1.0℃ ◆恒温区长度：定制 ◆开机重复性：≤±1.0℃ ◆冷态真空度：10-1Pa ◆石英真空室内径：定制 ◆控制仪表：日本岛电公司原装进口控温仪 ◆环境温度：10~45℃ ◆相对湿度：≤85% ◆供电电源：三相五线380V±10% 50Hz ◆可用气氛：H2，N2 ★可配工艺管数量：1~4管/台； ★工作温度范围：200～1000℃； ★恒温区长度及精度：300～900mm 600~1000℃±0.5℃； ★单点温度稳定性：600～1000℃±0.5℃/24h； ★最大可控升温速度：15℃/min ★最大降温速度：15℃/min