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品牌:青岛福盟微电子设备有限公司
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四管扩散炉主要满足半导体电力电子器件、大功率集成电路等行业，对所加工硅片进行扩散、氧化、退火、合金等工艺。主要由扩散炉加热炉体、气源系统、控制系统、超净化操作系统组成。选用工控机微控方式或程控方式操作。